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​TSC6520热激励电流测量系统是一款专门用于测量压电陶瓷热激烈电流的专用设备，该系统是在客户一致认可的TSC6510的基础上升级而成，不仅可以测量压电陶瓷的热激励退极化电流TSDC，还可以测量热激励极化电流TSPC，最高极化电压1KV，最小空载电流可达到0.5PA，得到清华大学、上硅所、华中科技大学等行业客户的高度认可，是高校、科研院所、企业用于研究压电陶瓷热释电性能的必备表征工具。​

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热激励电流测量系统
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TSC6520热激励电流测量系统

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制冷

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三维位移平台

分别有四个探针臂，运用XYZ三维移动平台的控制夹具方向，位移最小分辨率10um以下，且不划伤薄膜。

控温平台

高低温加热一体化控温平台，温度可达-160℃~450℃​，采用PID精确控温，控温精度1℃。


一键式启动

采用集成化设计，操作简单方便，轻松获取最佳测量结果。

超越预期，做到您想不到

显微镜

放大观察样品和探针之间的距离，实时观察样品的状态。

热激励电流测量系统

     测量通道： 单通道

     电流范围： 500fA~20mA

     测量温度： -160℃~450℃

     真空度： 10-2Pa

     升温斜率： 0-10℃/min

     样品尺寸： φ＜20mm

     控温精度： ±0.5℃

     探针臂： 4个

     加热制冷： 液氮制冷/电阻丝加热

     X轴： 行程±0.5mm，最高精度±0.01mm

     降温时间： 30min/-160℃

     Y轴： 行程±0.5mm，最高精度±0.01mm

     极化电压： 0~1KV

     Z轴： 行程±0.5mm，最高精度±0.01mm

热激励电流测量系统
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高低温、真空、气氛条件下研究压电陶瓷的热激励电流。
实现500fA-20mA电流测量解决方案。
计划电压高达1KV，最小空载电流可达到0.5PA。

用于高低温、真空、气氛条件下研究压电陶瓷的热激励电流

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配备低温液氮传输系统，实现自动补给给控温平台需要的制冷量。

扫描在线教学。

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可以分析监测热激励去极化电流和极化电流随温度变化的曲线。