已申请实用新型专利 专利号:ZL 2015 2 0667725.6
双电测组合测量
业内最可靠的高温四探针测量系统
— 为您开启测量新视野—
01
■ 高温炉膛、测量夹具、显示及软件集成于一体,测量精度更高,仪器更加稳定且易维护;
■ 炉膛采用进口金属材料,耐高温、抗氧化,可实现多种环境下的电学测量;
■ 弹簧夹具采用半球状+平板状电极结构,让系统的重复性和稳定性更高;
■ 集成10.1”电容触摸宽屏显示,软件操作更加流畅,体验感更好;
■ 控温和测量采用同一个传感器,保证样品每次采集的温度都是实际温度;
■ 最新的RMS系列机型采用RAM嵌入式开发平台,可以进行在线升级、远程协助及故障诊断;
02
■ 电动升降炉膛设计,操作简单,使用方便;
■ 高温炉膛采用进口纤维一体开模铸造而成,最高温度可达1000℃;
■ 炉膛内部配有超温报警电路,确保炉膛不易烧坏,采用先进的工程塑料开模,外表美观;
■ 采用三段PID精确控温,实现不同温度区间的精确控温,控温精度达到±0.5℃;;
■ 炉膛升温故障诊断监控设计,随时监测炉膛运行情况;
■ 可以测量半导体薄膜和薄片材料的方块电阻、电阻率;
■ 双电测组合测量,消除探针和样品的自身影响;
■ 可以自动调节施加在样品的测试电压,以防样品击穿;
■ 耐高温四探针夹具,碳化钨探针,99氧化铝陶瓷绝缘;
■ 系统自带温度校准功能,让测量温度尽可能与样品实际温度保持一致。
03
经典直排四探针设计
特殊半球状针尖、避免薄膜样品损坏
特点:
■ 集成一体化设计,触摸屏控制和显示,具有卓越的易用性;
■ 可以实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能;04