Partulab RMS-1000P高温四探针测量系统主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能,该系统采用直排四探针测量原理和单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计研发,可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗 单晶(棒料、晶片)电阻率和硅外延层、扩散层和离子注 入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻和电阻率。该系统广泛应用于高校科研院所和企业单位半导体薄膜和薄片材料电学性能研究。
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已申请实用新型专利  专利号:ZL 2015 2 0667725.6

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RMS-1000P 系列高温薄膜/薄片

四探针测量系统

用四探针技术测量半导体薄层电阻的新方案
薄膜、硅片电阻率测量标准

双电测组合测量

目前双电测组合(亦称双位组合)四探针法有三种模式:模式(1),模式(2),模式(3),RMS-1000P高温半导体材料四探针测量系统采用模式(2),通过计算机对三种模式的理论进行比较研究的结果证明:对无穷大被测片三种模式都一样,可是测量小片或大片边缘位置时,模式(2)更好,它能自动消除边界影响,略优于模式(3),更好于模式(1).
双电测组合法测试薄膜/薄片的基本原理和方法

真空可密封管式加热炉

采用进口金属内胆,耐高温、抗氧化,可实现多种环境(如:惰性气氛、氧化气氛、还原气氛、真空气氛)的测量。


四探针测量软件

三种模式任意选择,具有最简单的操作界面和最强大的测量分析功能,新手也可以快速掌握操作方法简单易操作。


测量温度:RT-1000℃

测量组合:四探针双电测组合测量

供电:220V±10%,50Hz

升温斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)

样品尺寸:φ15~30mm,d<4mm薄片或薄膜

工作温度:5℃ 至 + 40 ℃;

控温精度:±0.5℃

电极材料:碳化钨针

存储温度:–40 ℃ 至 +65 ℃

电阻测量范围:0.1mΩ~1MΩ

针尖绝缘电阻:≥1000MΩ

工作湿度:+40 ℃ 时,相对湿度最高达 95%(无冷凝)

电阻率测量范围:0.01mΩ.cm~100KΩ.cm

绝缘材料:99氧化铝陶瓷

设备尺寸:400x450x580mm

电导率测量范围:0.00001s/cm~100000s/cm

数据存储格式:TXT文本格式

重量:38kg

测量精度:0.01%

数据传输:USB

保修期:1年

测量环境:惰性气氛、还原气氛、真空气氛

符合标准:ASTM F84、GB/T 1551-2009、GB/T 1551-1995

业内最可靠的高温四探针测量系统

— 为您开启测量新视野— 

双电测组合测量夹具

测试结果与探针间距无关,也不必寻找修正因子,不移动四探针探头 ,同时使用三种模式测量 ,即可得计算到测试部位的电阻均匀性。


一键式电动升降

采用一键式电动升降设计,并且采用独特的弹簧真空设计结构,确保高温与夹具良好的接触并且密封性好。


炉膛加热故障诊断监控

通过指示灯状态监控炉膛是否在正常加热,指示灯不断闪烁,说明炉膛在正常工作。


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集成一体化设计
高温炉膛、测量夹具、测量软件集成于一体

■ 高温炉膛、测量夹具、显示及软件集成于一体,测量精度更高,仪器更加稳定且易维护;


■ 炉膛采用进口金属材料,耐高温、抗氧化,可实现多种环境下的电学测量;


■ 弹簧夹具采用半球状+平板状电极结构,让系统的重复性和稳定性更高;


■ 集成10.1”电容触摸宽屏显示,软件操作更加流畅,体验感更好


■ 控温和测量采用同一个传感器,保证样品每次采集的温度都是实际温度;


■ 最新的RMS系列机型采用RAM嵌入式开发平台,可以进行在线升级、远程协助及故障诊断

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多功能真空电学加热炉
可实现高温、真空、气氛测量环境

■ 电动升降炉膛设计,操作简单,使用方便;


■ 高温炉膛采用进口纤维一体开模铸造而成,最高温度可达1100℃;


■ 炉膛内部配有超温报警电路,确保炉膛不易烧坏,采用先进的工程塑料开模,外表美观;


■ 采用三段PID精确控温,实现不同温度区间的精确控温,控温精度达到±0.5℃;


■ 炉膛升温故障诊断监控设计,随时监测炉膛运行情况

■ 可以测量半导体薄膜和薄片材料的方块电阻、电阻率;


■ 双电测组合测量,消除探针和样品的自身影响;


■ 可以自动调节施加在样品的测试电压,以防样品击穿;


■ 耐高温四探针夹具,碳化钨探针,99氧化铝陶瓷绝缘;


■ 系统自带温度校准功能,让测量温度尽可能与样品实际温度保持一致。

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经典直排四探针设计

特殊半球状针尖、避免薄膜样品损坏

专业薄膜电学测试软件
获得国家软件著作权保护(2015SR140507)

特点:

 集成一体化设计,触摸屏控制和显示,具有卓越的易用性;

 可以实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能;
 可以通过输入样品的面积和厚度,软件自动计算样品的电阻率pv;
 可以分析电阻率pv与温度T的变化曲线;
 可以通过USB传输数据,数据格式为Excel格式。

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