佰力博RMS-1000S系列半导体材料电阻率测量系统主要用于半导体材料导电性能的评估和测试，该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发，可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试，可以广泛用于半导体材料硅（si）、锗（ge）,化合物半导体材料砷化镓(GaAs)、锑化铟（InSb），三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP，固溶体半导体，如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量等材料的电阻率测量。

氧化物

半导体材料

化合物

半导体材料

RMS-1000S

高温半导体材料电阻率测量系统

三元化合物

半导体材料

固溶体

半导体材料

业内值得信赖的高温半导体材料电阻率测量系统

提供复杂多变的电阻率测量环境，Ω实现10-4Ω~108Ω的电阻率测量

金属屏蔽罩设计，避免因温场波动而引起测量数据波动，数据不跳点

采用上电极半球状+下电极平板状设计，可以精确定位测量，使测量数据更加精准可靠；

内置进口纤维一体开模铸造的高温炉膛，最高温度1000℃；

采用多段PID精确控温，实现炉膛精确控温要求，控温精度达到±0.5℃。

多种气氛环境测量，满足个性化场景测量需求

实现真空气氛、空气、流动气氛条件下的变温环境测量，可选配多路充气装置，实现手动快捷配气。

技术参数
温度范围：RT~1000℃（长时间工作850℃）
控温精度：±0.5℃
升温斜率：0~10℃/min（典型值：3℃/min）
加热方式：电阻丝加热
电阻测量范围：10-4Ω~108Ω
电流测量范围：500fA~20mA
测量环境：空气、流动气氛、真空气氛
测试通道：1通道
样品尺寸：φ＜25mm,d＜5mm
电极材料：上下铂金电极
设备尺寸：665*480*602（长*宽*高）
供电：220V，50Hz~60Hz,1600w
重量：45kg
保修期：1年