RMS-1000S系列高温半导体材料电阻率测量系统

Partulab RMS-1000S系列半导体材料电阻率测量系统主要用于半导体材料导电性能的评估和测试,该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发,可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率,可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试,可以广泛用于半导体材料硅(si)、锗(ge),化合物半导体材料砷化镓(GaAs)、锑化铟(InSb),三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP,固溶体半导体,如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量等材料的电阻率测量。

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氧化物

半导体材料

三元化合物半导体

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固溶体

半导体材料

化合物

半导体材料

专业的测量分析软件

具有最简单的操作界面和最强大的测量分析功能,新手也可以快速掌握操作方法简单易操作。
该软件已申请软件著作权

炉膛加热故障诊断监控

通过指示灯状态监控炉膛是否在正常加热,指示灯不断闪烁,说明炉膛在正常工作;

高温抗氧化电极夹具系统

采用半球+平板状铂金电极结构,支撑和屏蔽采用进口合金材质,利用叶片设计可以很好解决因平台带来的热弛豫影响。

真空可密封管式加热炉

采用进口金属内胆,耐高温、抗氧化,可实现多种环境(如:惰性气氛、氧化气氛、还原气氛、真空气氛)的测量。

放气阀+风扇设计

放气阀可以实现流动气氛的设计,风扇可以冷却高温炉的外壁,同时让低温段控温更好。

业内值得信赖的高温半导体材料电阻率测量系统​ 

让您可以从容应对1mΩ~10MΩ电阻的测量

温度范围:RT-1000℃

测试通道:单通道

供电:220V±10%,50Hz

升温斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)

样品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm

工作温度:5℃ 至 + 40 ℃;

控温精度:±0.5℃

电极材料:上电极半圆型铂金电极,下电极平板型铂金电极

存储温度:–40 ℃ 至 +65 ℃

电阻测量范围:0.1mΩ~1MΩ

绝缘材料:99氧化铝陶瓷

工作湿度:+40 ℃ 时,相对湿度最高达 95%(无冷凝)

电阻率测量范围:100nΩ..cm~100KΩ .cm

数据存储格式:TXT文本格式

设备尺寸:400x450x580mm

测量环境:惰性气氛、还原气氛、真空气氛

数据传输:USB

重量:38kg

测量方法:四线电阻法

符合标准:ASTM

保修期:1年

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集成一体化设计,实现简单的操作和强大的测量功能

特点:

■ 高温炉膛、测量夹具、测量软件等集成于一体,让操作变得更加简单,测量精度则会更高;

■ 触摸屏控制和显示,同时支持外接键盘和鼠标操作,满足多样化需求;

■ RMS电阻率测量软件兼容世界主流仪表Keithley 2400,扩展应用更加方便;

■ 可以实现常温、高温、真空、气氛条件下测量半导体材料的电学性能;

■ 专业的测量软件,可以测量半导体材料的方块电阻和电阻率;


进口纤维一体开模铸造的高温炉膛,为您实现多元化的测量条件

高温炉控温曲线图

特点:

■ 进口纤维一体开模铸造的高温炉膛,最高耐温1100℃

■ 内胆采用进口金属材料,耐高温、抗氧化,可实现常温、高温、真空、流动气氛等多种试验环境下的电学测量;

■ 为了减小高温下导线受电炉丝的交流信号干扰而建立了金属屏蔽罩,有效减小外部信号的干扰和增加测试频率带宽

■ 采用九点控温法,以传感器为中心点,其半径20mm的圆环上均匀铺设八个温度采集点,九个温度点范围内采集到的温度最大温差为1℃,此范围为样品测试的最佳温区;

电阻率测量高温炉校对温度方法
高温炉温区分布图

软件远程控制,可实现远程售后及时诊断、协助,测量软件可享终身免费升级

特点:

■ 可以测量半导体材料的方块电阻、电阻率,实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能;

■ 操作简单,功能强大的测量软件,可以通过输入样品的面积和厚度,软件自动计算样品的电阻率ρv

■ 智能化控制,可自动调节施加在样品的测试电压,以防样品击穿

■ 采用最新的RAM嵌入式开发平台,可以进行在线升级、远程协助及故障诊断;

■ 测量软件终身免费设计

 远程协助教程及方法

RMS-1000S软件操作指南

经典设计,切实可用的夹具系统设计,获得更好的测量重复性和稳定性

特点:

弹簧夹具设计,弹簧的可压缩性既不损伤样品又能实现样品的良好接触;

电极半球+电极平板状结构设计,可以精确定位测量被测样品某一点

■ 控温和测温采用同一个传感器,保证样品每次采集的温度都是样品实际温度

■ 采用九点控温法,九个温度点范围内采集到的温度最大温差为1℃,此范围为样品测试的最佳温区;

电极支撑和屏蔽采用进口合金材质,利用叶片设计可以很好解决因平台带来的热弛豫影响;

订购信息

订购编号

测量温度

测量电阻

测量通道

样品尺寸

测量环境

测量仪器(2182+6221)

RMS1000S1PBG

RT-1000℃

10nΩ - 100MΩ

1

10mmx10mmX20mm或φ<20mm

空气、真空气氛

选件

RMS1000S1PBVG

RT-1000℃

10nΩ - 100MΩ

1

10mmx10mmX20mm或φ<20mm

空气、真空气氛

选件