RMS-1000S系列高温半导体材料电阻率测量系统

佰力博RMS-1000S系列半导体材料电阻率测量系统主要用于半导体材料导电性能的评估和测试，该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发，可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试，可以广泛用于半导体材料硅（si）、锗（ge）,化合物半导体材料砷化镓(GaAs)、锑化铟（InSb），三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP，固溶体半导体，如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量​等材料的电阻率测量。

氧化物

半导体材料

三元化合物半导体材料

固溶体

半导体材料

化合物

半导体材料

专业的测量分析软件

炉膛加热故障诊断监控

通过指示灯状态监控炉膛是否在正常加热，指示灯不断闪烁，说明炉膛在正常工作；

高温抗氧化电极夹具系统

采用半球+平板状铂金电极结构，支撑和屏蔽采用进口合金材质，利用叶片设计可以很好解决因平台带来的热弛豫影响。

真空可密封管式加热炉

采用进口金属内胆，耐高温、抗氧化，可实现多种环境（如：惰性气氛、氧化气氛、还原气氛、真空气氛）的测量。

放气阀+风扇设计

放气阀可以实现流动气氛的设计，风扇可以冷却高温炉的外壁，同时让低温段控温更好。

业内值得信赖的高温半导体材料电阻率测量系统​ 

让您可以从容应对0.1mΩ~100MΩ电阻的测量

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集成一体化设计，实现简单的操作和强大的测量功能

特点：

■ 高温炉膛、测量夹具、测量软件等集成于一体，让操作变得简单，测量精度则会高；

■ 触摸屏控制和显示，同时支持外接键盘和鼠标操作，满足多样化需求；

■ RMS电阻率测量软件兼容世界主流仪表Keithley 2400，扩展应用更加方便；

■ 可以实现常温、高温、真空、气氛条件下测量半导体材料的电学性能；

■ 专业的测量软件，可以测量半导体材料的方块电阻和电阻率；

进口纤维一体开模铸造的高温炉膛，为您实现多元化的测量条件

特点：

■ 进口纤维一体开模铸造的高温炉膛，最高耐温1100℃；

■ 内胆采用进口金属材料，耐高温、抗氧化，可实现常温、高温、真空、流动气氛等多种试验环境下的电学测量；

■ 为了减小高温下导线受电炉丝的交流信号干扰而建立了金属屏蔽罩，有效减小外部信号的干扰和增加测试频率带宽；

■ 采用九点控温法，以传感器为中心点，其半径20mm的圆环上均匀铺设八个温度采集点，九个温度点范围内采集到的温度最大温差为1℃，此范围为样品测试的最佳温区；